日本金属学会 2019年秋期(第165回)講演大会

講演情報

一般講演

3.組織 » 分析・解析・評価

[G] 組織・観察・分析

2019年9月13日(金) 13:00 〜 15:10 B会場 (一般教育棟C棟2階C25)

座長:保田英洋(大阪大学)、奥田 浩司(京都大学)

13:00 〜 13:15

[44] EBSD測定とFIB/(S)TEM観察法によるβ-Ga2O3基板の加工損傷層の評価

*田中 孝治1、伊藤 利充2 (1. 産総研 電池技術研究部門、2. 産総研 電子光技術研究部門)

キーワード:FZ法、β-Ga2O3、加工損傷層、EBSD、FIB/STEM

FZ法により作製されたβ-Ga2O3基板の研磨時に導入される加工損傷を、(高分解能)EBSD測定とFIB/(S)TEM観察法により評価した結果を発表する。

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