1:00 PM - 1:15 PM
[44] EBSD測定とFIB/(S)TEM観察法によるβ-Ga2O3基板の加工損傷層の評価
Keywords:FZ法、β-Ga2O3、加工損傷層、EBSD、FIB/STEM
FZ法により作製されたβ-Ga2O3基板の研磨時に導入される加工損傷を、(高分解能)EBSD測定とFIB/(S)TEM観察法により評価した結果を発表する。
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