[G] Microstructure Observations and Analyses

[45] 多分割反射電子検出器を搭載した走査電子顕微鏡による結晶粒形状の評価

*Otsuka Takeshi¹, Otake Yuka¹, Hara Masaya¹, Ota Yasunori¹, Miyazawa Satoshi¹ (1. 日本電子)

Keywords:走査電子顕微鏡、結晶組織、粒度分布

走査電子顕微鏡に多分割半導体検出器を搭載し、それらの信号強度差を使って結晶粒を抽出して結晶粒形状の評価を行ったので報告する。