[G] Biomaterials Development and Clinics(2)

[483] スパッタリング法によるSrTiO₃の成膜と光応答の鋭敏化

*MATSUMURA Shu¹, UEDA Masato², IKEDA Masahiko² (1. 関西大学大学院理工学研究科、2. 関西大学化学生命工)

Keywords:半導体、光触媒、細胞培養器

ガラス上にSrTiO₃膜を合成する方法を検討した。水熱合成したSrTiO₃粉末をターゲットとしたスパッタリングで光応答を示す同膜を合成できた。光応答性の向上を狙ったTiO₂との積層膜も合成できた。