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[483] スパッタリング法によるSrTiO3の成膜と光応答の鋭敏化
キーワード:半導体、光触媒、細胞培養器
ガラス上にSrTiO3膜を合成する方法を検討した。水熱合成したSrTiO3粉末をターゲットとしたスパッタリングで光応答を示す同膜を合成できた。光応答性の向上を狙ったTiO2との積層膜も合成できた。
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