[P] P16~P19

[P16] Relationship stacking faults amounts and hardness of epitaxial Cr (N,O) thin films

*Yusuke IWASAKI¹, Tadachika NAKAYAMA¹, Hisayuki SUEMATSU¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. Tech.)

Keywords:Hard coating、Epitaxial growth、Pulsed Laser Deposition、Stacking faults、Chromium nitride

エピタキシャル成長させたCr(N,O)薄膜を作製し、積層不整量と硬度の関係を調査した。積層不整相であるD5₁相はX線回折によって評価し、硬度はナノインデンテーション法によって測定した。