[P] P16~P19

[P16] エピタキシャルCr(N,O)薄膜の積層不整量と硬度の関係

*岩崎 悠佑¹、中山 忠親¹、末松 久幸¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：Hard coating、Epitaxial growth、Pulsed Laser Deposition、Stacking faults、Chromium nitride

エピタキシャル成長させたCr(N,O)薄膜を作製し、積層不整量と硬度の関係を調査した。積層不整相であるD5₁相はX線回折によって評価し、硬度はナノインデンテーション法によって測定した。