[P] P16~P19

[P18] Electrical conductivity in epitaxial (Cr,Fe)N thin films

*takumi SUGAI¹, junya NITTA¹, tadachika NAKAYAMA¹, Hisayuki SUEMATSU¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. Tech)

Keywords:(Cr、Fe)N、Chromium nitride、Pulsed Laser Deposition、Electrical resistivity、Epitaxial growth

エピタキシャル成長させた(Cr,Fe)N薄膜を作製し、電気伝導性を評価した。4端子法による測定結果から(Cr,Fe)N薄膜はCrN薄膜に対してわずか3%程度のFeの固溶で電気抵抗率は2桁程度上昇することが確認できた。