[P] P16~P19

[P18] エピタキシャル(Cr,Fe)N薄膜の電気伝導性

*菅井 匠¹、新田 純也¹、中山 忠親¹、末松 久幸¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：(Cr、Fe)N、Chromium nitride、Pulsed Laser Deposition、Electrical resistivity、Epitaxial growth

エピタキシャル成長させた(Cr,Fe)N薄膜を作製し、電気伝導性を評価した。4端子法による測定結果から(Cr,Fe)N薄膜はCrN薄膜に対してわずか3%程度のFeの固溶で電気抵抗率は2桁程度上昇することが確認できた。