[P] P122~P125

[P122] 積層順が多層DLC膜の機械的性質におよぼす影響

*岡田 皓稀¹、西本 明生¹ (1. 関西大学)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、多層化、積層順、摩擦係数

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、表面コーティング材料のなかでもその優れた性質から注目を集めている。そこで本研究では、積層順を変化させ交互に積層したDLC膜の機械的特性などを比較調査した。