[P] P122~P125

[P123] Comparative investigation of mechanical properties of various multilayer DLC films deposited using C₂H₂ gas

*Yukio KOBAYASHI¹, Akio NISHIMOTO² (1. Grad. Sch. Sci & Eng., Kansai Univ., 2. Kansai Univ.)

Keywords:DLC、C₂H₂、多層膜、耐摩耗性、密着性

オーステナイト系ステンレス鋼SUS304にC₂H₂ガスを用いて4 層構造を形成させた多層DLC膜を成膜し、1層あたりの膜厚を変化させることで密着性や耐摩耗性におよぼす影響を調査した。