[P] P122~P125

[P124] Active screen plasma nitriding using double screen of Ti and SPCC

*Shun HAMASHIMA¹, Akio NISHIMOTO² (1. Kansai University(Graduate Student), 2. Kansai University)

Keywords:アクティブスクリーンプラズマ窒化処理、プラズマ窒化処理、表面改質処理、TiNコーティング

低炭素鋼S15Cに対して、TiとSPCCの異種材料の二重スクリーンを用いたASPN処理を行った。処理ガスを変化させ、分析結果を比較した。その結果、ガス組成によって堆積物の皮膜や窒化層が異なっていた。