[P] P122~P125

[P123] C₂H₂ガスを用いて成膜した種々の多層 DLC 膜の機械的特性の比較調査

*小林 幸央¹、西本 明生² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大)

キーワード：DLC、C₂H₂、多層膜、耐摩耗性、密着性

オーステナイト系ステンレス鋼SUS304にC₂H₂ガスを用いて4 層構造を形成させた多層DLC膜を成膜し、1層あたりの膜厚を変化させることで密着性や耐摩耗性におよぼす影響を調査した。