[S5] Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions IV

[S5.7] Nano/Micro-Protrusion of Iron and Its Alloys Fabricated by Ga Ion Irradiation II

*Shun-Ichiro TANAKA¹ (1. μSIC, Tohoku University)

Keywords:励起反応場、鉄および鉄合金、円錐状突起体

Ａｒイオン照射では生成しにくいＦｅ基円錐突起体をＧａイオン励起反応場で生成することに成功した。低炭素鋼とSUSでは成長様式が異なるがトップダウンとイオン源を向くボトムアップ機構となる。