[S5] ナノ・マイクロスペーステイラリングIV

[S5.7] 鉄基ナノ・マイクロ突起体の創成II

*田中 俊一郎¹ (1. 東北大μSIC)

キーワード：励起反応場、鉄および鉄合金、円錐状突起体

Ａｒイオン照射では生成しにくいＦｅ基円錐突起体をＧａイオン励起反応場で生成することに成功した。低炭素鋼とSUSでは成長様式が異なるがトップダウンとイオン源を向くボトムアップ機構となる。