[G] 電気・電子・光関連材料

[6] Bi₂Te₃/Sb₂Te₃積層膜の電気特性に及ぼす界面の影響

*齊藤 雄太¹、牧野 孝太郎¹、富永 淳二¹、フォンス ポール²、コロボフ アレクサンダー³、上杉 文彦⁴、竹口 雅樹⁴ (1. 産総研、2. 慶應大、3. ゲルツェン大、4. 物材機構)

キーワード：Bi₂Te₃、Sb₂Te₃、スパッタ法、pn接合、配向膜

Bi₂Te₃/Sb₂Te₃積層膜において、界面反応層や中間層が縦方向の電気特性に及ぼす影響について調査した。