2:35 PM - 2:50 PM
[6] Effects of Interface on Electric Properties of Bi2Te3/Sb2Te3 Hetero Layer
Keywords:Bi2Te3、Sb2Te3、スパッタ法、pn接合、配向膜
Bi2Te3/Sb2Te3積層膜において、界面反応層や中間層が縦方向の電気特性に及ぼす影響について調査した。
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