[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[41] Three-dimensional analysis of dopant atoms in phosphors via HAADF-STEM imaging

*Genki SAITOU¹, Norihito Sakaguchi¹ (1. Hokkaido University)

Keywords:電子顕微鏡、HAADF、STEM、ドーパント

フォーカスを変化させながらHAADF-STEM像を撮影し、セラミックス材料中のドーパントの3次元分布の解析を試みた。収束角、入射方位等の影響を調査した。