[G] Fundamentals of Mechanical Properties

[13] In-situ Indentation observation of fracture behavior of single crystal silicon by using transparent Vickers indenter

*NAKANO Akito¹, MIURA Seiji², IKEDA Ken-ichi² (1. Graduate School of Engineering, Hokkaido Univ., 2. Faculty of Engineering, Hokkaido Univ.)

Keywords:その場観察、単結晶シリコン、Vickers Indentation、亀裂、破壊挙動、In-situ Vickers Indentation

Vickers試験は試験中の試料表面は観察不可能である。本研究では透明圧子を使用することで、In-situ Vickers Indentationを可能とした。単結晶Siを観察した所、負荷-除荷過程で破壊や亀裂進展の違いが観察された。