[G] Fundamentals of Mechanical Properties

[14] Fabrication and Enhanced Vickers Hardness of Electrodeposited Co-Cu Alloy Film with Periodical Composition Gradient

*HAGIWARA Hiroyuki¹, KANEKO Yoshihisa², UCHIDA Makoto² (1. Osaka City University, Graduate student, 2. Osaka City University)

Keywords:ビッカース硬さ、傾斜組成、Co-Cu合金、XRD

周期的に電位を連続的に変化させる特殊な電気めっき法により，厚さ方向に高い濃度勾配を導入したCo-Cu合金薄膜を作製した．傾斜組成構造は単なる均質合金薄膜や多層膜に比べ優れたビッカース硬さを示した．