[G] Hydrogen and Battery Related Materials (2)

[406] Morphological change of dealloyed Pd film by controlling substrate temperature of Pd-Al sputtered film

*HASEGAWA Shuya¹, ISHIGURO Takashi¹ (1. Tokyo University of Science)

Keywords:パラジウム、ナノポーラス、TEM

マグネトロンスパッタリングによるAl-Pd薄膜の成膜時に、基板の温度を0℃ 25℃,75℃に保持することで、95℃のEDTA水溶液による脱合金に時に形成される構造を変化させた。