[P] 9.電気・磁気関連材料

[P111] Effect of 3D-seed on coercivity of post-annealed Nd-Fe-B thin films

*FURUSAWA Kohei¹, KOIKE Kunihiro¹, KATO Hiroaki¹, INABA Nobuyuki¹, ITAKURA Masaru², SAITO Yu³, OKUBO Susumu³, OTA Hitoshi³ (1. Yamagata Univ., 2. Kyushu Univ., 3. Kobe Univ.)

Keywords:Nd₂Fe₁₄B薄膜、3Dシード、保磁力、ポストアニール

本研究ではポストアニールしたNd-Fe-B薄膜の保磁力に与える3D形態のシード導入効果について検討した結果，シード導入はUHVアニールによるNd₂Fe₁₄Bの結晶化を促進させるため保磁力が増大することを確認した．