[P] 9.電気・磁気関連材料

[P118] ZnO-VおよびZnO-V-Al薄膜の光学的・電気的特性の改善

*小出 拓史¹、山下 悠利²、山根 治起⁴、小林 政信³ (1. 千葉工大（院生）、2. 千葉工大（学生）、3. 千葉工大、4. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、酸化物半導体、透明電極、薄膜、V

ITOの代替材料として注目されているZnOをベースにVおよびAlを添加した際の光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。