[P] 5.材料化学

[P124] Comparative investigation of mechanical properties of multilayer DLC films formed using different source gases

*KOBAYASHI Yukio¹, NISHIMOTO AKIO² (1. Grad. Sch. sci. & Eng., Kansai University, 2. Kansai University)

Keywords:DLC、プラズマCVD、多層構造、メタンガス、アセチレンガス

オーステナイト系ステンレス鋼に異なる原料ガスを用いて積層回数の異なる多層DLC膜を成膜し、ガスおよび積層回数による密着性や耐摩耗性におよぼす影響を調査した。