[P] 5.材料化学

[P126] Optical Properties of InAlN Films Deposited by Glancing-angle Reactive Evaporation

*HOSHI Daisuke¹, HONMA Masahiro¹, INOUE Yasushi², TAKAI Osamu³ (1. Chiba Inst.Technol., 2. Chiba Inst.Technol., 3. Kanto Gakuin Univ)

Keywords:反応性蒸着法、吸着誘起型エレクトロクロミック、Moss-Bursteinシフト

窒化インジウム薄膜は、分極させることで、可逆的に明褐色から暗褐色へ変化するエレクトロクロミック現象を示す。この色変化で透明状態を実現するため、他元素添加(Al添加)を行い、透明状態に近づくかを調査した。