[P] 5.材料化学

[P129] Evaluation of deformation behavior of Ti-based metallic glass thin films contained Ar nanoclusters

*KOBATA Junpei¹ (1. Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

Keywords:アンバランスドマグネトロンスパッタ、金属ガラス、薄膜、アルゴン、ナノインデンテーション

Ar原子ナノクラスターを持つTi基金属ガラス膜の室温変形挙動をナノインデンテーション法により評価した結果、Ar原子ナノクラスターがせん断帯の形成・成長に大きな影響を与えていることを見出した。