[P] 6.材料プロセシング

[P143] Fabrication and evaluation of power module heat sink formed by Cold Spray process

*KOSHIBA Keiko¹, FUKUMORI Minoru¹, MORISAKO Isamu¹, IIZUKA Tomonori¹, TATSUMI Kouhei¹ (1. 早大情シス)

Keywords:Cold Spray、Additive Manufacturing、パワーデバイス、実装

コールドスプレー法によってパワーモジュールの任意の箇所へCu皮膜を形成させることで、ヒートシンク作製を試みた。また、皮膜形成時の基材温度を変化させ、組織観察や硬度評価を行った。