[P] 3.組織

[P21] Dynamical observation for investigating metal/Si interface reaction mechanism

*HARADA hiromasa¹, SHIMADA yusuke², YOSHIDA kenta², INOUE koji², NAGAI yasuyoshi², KONNO toyohiko² (1. Department of material science, 2. Institute for Materials Research)

Keywords:原子分解能その場加熱観察、界面反応、透過電子顕微鏡

我々は透過電子顕微鏡を用いたナノスケールでの界面構造の観察を行ってきた。本研究ではAu/Siの原子分解能その場加熱観察を行った。その結果、アモルファス合金の生成とそれとSiの界面移動が観察された。