[P37] Mechanical Property Evaluation of Single Crystalline Tin by Micro-Compression Test
Keywords:単結晶錫、微小圧縮試験
錫は電子デバイス産業でよく利用されているが、微小機械試験はあまり行われていない。錫をより信頼性の高いデバイスとして利用する場合、マイクロスケールでの機械的特性を評価しておくことは非常に重要である。
Abstract password authentication.
Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate.