[P] 4.力学特性

[P37] Mechanical Property Evaluation of Single Crystalline Tin by Micro-Compression Test

*Hotta Tokihiro¹, Chang Tso-Fu　Mark¹, Sone Masato¹ (1. Tokyo tech)

Keywords:単結晶錫、微小圧縮試験

錫は電子デバイス産業でよく利用されているが、微小機械試験はあまり行われていない。錫をより信頼性の高いデバイスとして利用する場合、マイクロスケールでの機械的特性を評価しておくことは非常に重要である。