[P73] Fabrication of lotus type porous silicon by continuous casting method
Keywords:多孔質、連続鋳造、熱電材料
融点での気相の溶解度差を利用したポーラスシリコン作製時の温度勾配と孔形状の関係を調査するため,凝固速度の制御が可能な連続鋳造法でポーラスシリコンを作製し,孔のアスペクト比を大きくすることを目指した.
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