[S2] Materials Science and high temperature processing of widegap materials 2

[S2.11] Attempt and its characterization to remove sub-surface polishing damage on β-Ga₂O₃

*TANAKA Koji¹, Ohmagari Shinya¹, Tachiki Minoru², Takano Miwako², Watanabe Hideyuki¹, Umezawa Hitoshi¹ (1. Natl. Inst. of Adv. Ind. Sci. and Tech. (AIST), 2. Natl. Inst. for Maters. Sci. (NIMS))

Keywords:FZ法、β-Ga₂O₃、加工損傷層、EBSD、FIB/STE、イオン研磨、EFG法

FZ法により作製されたβ-Ga₂O₃基板の研磨時に導入される加工損傷を、イオン研磨により除去する事を試みた結果とその評価を発表する。