[S2] Materials Science and high temperature processing of widegap materials 2

[S2.4] Rapid LPE growth of SiC using micro-particle effect

*Yamaguchi Shota¹, Narumi Taka², Yoshiakwa Takeshi¹ (1. IIS U.Tokyo, 2. IIS U.Tokyo(Present:Kyoto University）)

Keywords:SiC、Gibbs-Thomson効果、液相成長、エピタキシャル成長

著者らは、微粒子系のGibbs-Thomson効果を利用した、SiCの高速成膜の研究を進めており、本稿では、Si溶媒ならびにSi-Cr溶媒中にSiC微粒子を保持した際に得られたSiC結晶のエピタキシャル成長挙動について報告する。