[S3] Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions III

[S3.2] Nano/Micro-Protrusion of Iron and Its Alloys Fabricated by Ga Ion Irradiation

*TANAKA Shun-Ichiro¹ (1. Micro System Integration Center, Tohoku University)

Keywords:イオン励起反応場、ナノ・マイクロ突起体、鉄および鉄合金、トップダウンプロセス

Arイオン励起反応場では生成できなかった鉄基合金のナノ・マイクロ突起体を、より重いGaイオン照射で創成した。実験条件範囲内ではトップダウンプロセスが支配的で頂角11-20degの円錐体ができた。