[S4] Materials Science in Surface Chemistry on Metals(2)

[S4.12] [Keynote Lecture] Crystal Structure Control in Electrodeposited Noble Metals and The Application into Medical MEMS Devices

*SONE Masato¹, Tang Hao-Chun¹, Chang Tso-Fu　Mark¹, Yamane Daisuke¹, Machida Katsuyuki¹, Ito Hiroyuki¹, Masu Kazuya¹ (1. Tokyo-Tech)

Keywords:めっき、貴金属、機械的特性、微小材料試験、結晶組織

超高感度MEMS 加速度センサを実現するため、様々な電気めっき法を駆使し,金の細粒化強化や添加物による析出強化,合金化による固溶強化により、非常に高い機械的強度を有する階層的ナノ組織金属を作成した。