[P] P23~P30

[P27] Ti-Mo系コンビネーションスクリーンを用いたプラズマ窒化に及ぼすガス圧の影響

*古田 侑希¹、星山 康洋²、丸岡 智樹³ (1. 関西大学（院生）、2. 関西大学、3. 京都市産業技術研究所)

キーワード：プラズマ窒化処理、金属製スクリーン、Ti-Mo-N層、ステンレス鋼

ステンレス鋼を高機能化させる方法の一つにプラズマ窒化処理がある。本研究では通常のプラズマ窒化処理にTi-Mo系コンビネーションスクリーンを追加し、Ti-Mo-N層を形成させ、さらなる高機能化について検討を行った。