[G] Electric/Electronic/Optical Materials

[262] Crystallization behavior of sputter grown amorphous MoTe₂ films

*Yuta SAITO¹, Shogo HATAYAMA¹, Kotaro MAKINO¹, Noriyuki UCHIDA¹, Yi SHUANG², Shunsuke MORI², Yuji SUTOU², Alexander KOLOBOV^1,3, Paul FONS^1,4 (1. AIST, 2. Tohoku Univ., 3. Herzen Univ., 4. Keio Univ.)

Keywords:層状物質、アモルファス、遷移金属ダイカルコゲナイド、MoTe₂、結晶化

スパッタ法によってアモルファス相のMoTe₂薄膜を成長し、その後熱処理を行うことで結晶化させた。様々な分析手法を用いて、アモルファスから結晶化、そして構造変化していく挙動を調査した。