[P] P1~P4

[P4] Low-temperature crystallization of Ge thin films catalyzed by Ag

*XUHUI DENG¹, Kentaro KYUNO² (1. 芝浦工大（院生）、2. 芝浦工大)

Keywords:半導体、MIC法、金属誘起結晶法、薄膜

本研究では、低温で金属誘起結晶法（MIC法）を用いて、Agを触媒として利用して結晶化させたGe薄膜をチャネル層とした電界効果トランジスタを作製し、組織観察と電気特性の評価を行った。