[P] P54~P56

[P54] Crystallization and doping of Ge thin films using AgSb catalyst

*Taichi KAMBAYASHI¹, Kentaro KYUNO² (1. Shibaura Institute of Technology(Master), 2. Shibaura Institute of Technology)

Keywords:Ge薄膜、結晶化

AgSb合金を触媒として金属誘起結晶化法(MIC法)を利用してGeを結晶化させ，n型Ge薄膜の作製を試みた。触媒の酸化によりどのような変化が見られるか調べた。