[P] P54~P56

[P56] Effect of oxygen deficiency due to addition of Zn to ZnO thin film

*Taiga KOBAYASHI¹, Takumi KOIDE¹, Haruki YAMANE², Masanobu KOBAYASHI¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology Center)

Keywords:ZnO、透明電極、酸化物半導体、酸素欠損

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにZnを添加して酸素欠損の影響について検討することを目的とした。