[G] Surface, Interface, and Catalysts

[110] Microstructure and mechanical properties of metallic glass thin films including Ar nanoclusters formed by UBM sputtering

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:UBMスパッタ法、薄膜、金属ガラス、Ar、ナノインデンテーション

UBMスパッタ法によりArナノクラスターを含む含むTi-Cu基金属ガラス薄膜を形成した。成膜条件に依存して組織中に形成されるＡｒナノクラスターの大きさ等が変化し、変形挙動も大きく異なることが分かった。