[G] 表面・界面・触媒

[111] セルフコンシステントX 線応力測定法による合金薄膜の応力・組成同時解析

*春本 高志¹、史 蹟¹、中村 吉男¹ (1. 東工大物質理工)

キーワード：応力測定、薄膜、弾性定数、X線回折、歪解析

合金薄膜の応力・組成を簡便に解析する新しい手法として、セルフコンシステントX 線応力測定法を提案し、その妥当性について調査した。その結果、簡易測定には十分に適当可能であると判明した。