[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[309] Rapid three-dimensional observation of dislocations by STEM tomography

*Yifang Zhao¹, Suguru Koike¹, Rikuto Nakama², Hikaru Saito³, Masatoshi Mitsuhara³, Mitsuhiro Murayama^3,4, Satoshi Hata³ (1. Kyushu Univ. (postgraduate), 2. Kyushu Univ. (undergraduate), 3. Kyushu Univ., 4. Virginia Tech)

Keywords:STEM、電子線トモグラフィー、転位、ノイズフィルタリング、深層学習

本研究では、深層学習型のアルゴリズムであるU-Netを使用したノイズフィルタリングに基づく新しい手法を提案し、連続傾斜像の高速取得を実施し、STEMトモグラフィーを数秒レベルに高速化する実現性を検証した。