[S3] Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions V

[S3.12] Change in Lattice Spacing of Al₂O₃ Irradiated with Swift Heavy Ions -Fluence Dependence-

*Norito Ishikawa¹, Keietsu Kondo¹, Yuki Fujimura¹, Hiroaki Ogawa¹ (1. Japan Atomic Energy Agency (JAEA))

Keywords:イオン照射、サファイア、EBSD

Al₂O₃に対して、200 MeV Auイオンを照射した。EBSD（電子線後方散乱回折）分析装置を利用して、照射に伴う格子間隔変化を分析した。イオン照射に伴う歪みの発生量は、照射量の増加に伴い顕著になることが分かった