[KS] Road to Smart Society ~State-of-the-art and prospectus of materials in smart device~

[K1.4] [Keynote Lecture] Approach using PSD for fabrication of micro-LED displays

*Hiroshi Fujioka¹, Kouhei Ueno¹, Atushi Kobayashi¹ (1. The University of Tokyo)

Keywords:マイクロLEDディスプレイ、GaN、PSD

本講演ではスパッタリングをベースとする低温結晶成長手法（PSD法）を用いて作製された窒化物薄膜の基礎特性と、この結晶成長技術のマイクロLEDディスプレイ作製への応用について解説する．