[S5] Materials Science in Surface Chemistry on Metals

[S5.18] [Keynote Lecture] Mechanical Property Evaluation of Micro-sized Electrodeposited Noble Metals Toward Medical MEMS Device Application

*Masato SONE¹, Tso-Fu　Mark Chang¹, Takashi Nagoshi², Katsuyuki Machida¹, Daisuke Yamane³, Hiroyuki Ito¹, Kazuya Masu¹ (1. Tokyo-Tech, 2. AIST, 3. Ritsumeikan Univ.)

Keywords:めっき、貴金属、微小材料試験、医用デバイス、MEMS

MEMS加速度センサの構成材料をSiから金めっき材料に変更することで超高感度化が実現可能である。その実現には微小な金めっき材料の様々な物性を強化する必要がある。この方法について微小材料評価法とともに論じる。