[P] P1~P3

[P2] Improvement of optical and electrical characteristics by adding Ge to ZnO thin film

*Taiga KOBAYASHI¹, Kaisei NAKAJIMA¹, Haruki YAMANE², Masanobu KOBAYASHI¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology Center)

Keywords:ZnO、透明電極、酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにGeを添加し、光学的・電気的特性の変化を検討した。