[P] P1~P3

[P2] ZnO 薄膜への Ge 添加による光学的・電気的特性の改善

*小林 泰河¹、中島 魁星¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、透明電極、酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されている。その代替材料としてZnOが期待されている。本研究ではZnOにGeを添加し、光学的・電気的特性の変化を検討した。