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[P12] Traveling Liquidus-Zone育成Si1–xGex結晶へのビッカースインデンテーションによるラマンスペクトル変化
キーワード:SiGe、ラマンスペクトル、ビッカースインデンテーション、準安定相、高圧相変態、Traveling Liquidus-Zone法
Traveling Liquidus-Zone (TLZ) 法により育成した均一組成Si1–xGex合金結晶にビッカースインデンテーションを行い、圧痕領域に形成された準安定相によるラマンスペクトルの変化を調査した。
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