[P] P138~P152

[P140] Agナノ構造薄膜の熱処理加工におけるTi下地層の影響

*杉田 優樹¹、宮下 拓巳¹、三留 竜太¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：Ag ナノ構造薄膜、熱処理加工、光学的特性

本研究では、Ti下地層がAg薄膜の表面状態と光学的特性にどのような影響を与えるのか比較・検討した。