[P] P138~P159

[P140] Influence of Ti underlayer on heat treatment processing of Ag nanostructured thin films

*Yuki Sugita¹, Takumi Miyashita¹, Ryuta Mitome¹, Haruki Yamane², Masanobu Kobayashi¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology center)

Keywords:Ag ナノ構造薄膜、熱処理加工、光学的特性

本研究では、Ti下地層がAg薄膜の表面状態と光学的特性にどのような影響を与えるのか比較・検討した。